METHOD AND DEVICE FOR PLASMA TREATMENT OF A FLAT SUBSTRATE

Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung eines Substrats in einer Plasmavorrichtung, wobei - das Substrat (110) zwischen einer Elektrode (112) und einer Gegenelektrode (108) mit einem Abstand d zwischen einem zu behandelnden Oberflächenbereich des Substrats und der Elektrode angeordnet wird, -...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GEISLER, MICHAEL, SIEMERS, MICHAEL, ZEUNER, ARNDT, PFLUG, ANDREAS, FIEDLER, MARKS, GRABOSCH, GUENTER, CZARNETZKI, UWE, BRINKMANN, RALF-PETER, BECKMANN, RUDOLF
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!