GAS SUPPLY SYSTEM, PUMPING SYSTEM, COATING SYSTEM, GAS SUPPLY METHOD, AND PUMPING METHOD

A gas supply system 20 for supplying a gas into a pumping system 10 is provided, the pumping system including a plurality of pumping means 14, 16, the gas supply system comprising a gas inlet 22 and plurality of gas conduits 24, 25 fluidly connected to the gas inlet and each having a gas outlet 27, 28 fluidly connectable to the pumping system 10, wherein the gas outlets of the plurality of gas conduits are in parallel fluidly connectable to the pumping system and each gas conduit is provided with a gradient adjustment means adapted to provide at least one gradient of gas amount supplied to the pumping system. La présente invention porte sur un système d'alimentation en gaz (20) pour alimenter en gaz un système de pompage (10), le système de pompage comprenant une pluralité de moyens de pompage (14, 16), le système d'alimentation en gaz comprenant un orifice d'admission de gaz (22) et une pluralité de conduites de gaz (24, 25) en communication fluidique avec l'orifice d'admission de gaz, chacune des conduites ayant un orifice de sortie du gaz (27, 28) qui peut être raccordé de manière fluidique au système de pompage (10), les orifices de sortie du gaz de la pluralité de conduites de gaz pouvant être raccordés en parallèle de manière fluidique au système de pompage et chaque conduite de gaz étant pourvue d'un moyen de réglage de gradient conçu pour donner au moins un gradient de la quantité de gaz fournie au système de pompage.