CONCENTRIC SHOWERHEAD FOR VAPOR DEPOSITION

Embodiments of the invention generally relate to a concentric gas manifold assembly used in deposition reactor or system during a vapor deposition process. In one embodiment, the manifold assembly has an upper section coupled to a middle section coupled to a lower section. The middle section contains an inlet, a manifold extending from the inlet to a passageway, and a tube extending along a central axis and containing a channel along the central axis and in fluid communication with the passageway. The lower section of the manifold assembly contains a second manifold extending from a second inlet to a second passageway and an opening concentric with the central axis. The tube extends to the opening to form a second channel between the tube and an edge of the opening. The second channel is concentric with the central axis and is in fluid communication with the second passageway. Dans ses divers modes de réalisation, la présente invention concerne d'une façon générale un ensemble collecteur de gaz concentrique utilisé dans un réacteur ou un système de dépôt durant une opération de dépôt en phase vapeur. Dans un mode de réalisation, l'ensemble collecteur comprend une section supérieure qui est accouplée à une section centrale elle-même couplée à une section inférieure. La section centrale contient un orifice d'arrivée, un collecteur qui s'étend de l'orifice d'arrivée jusqu'à une voie de passage, et un tube qui s'étend le long d'un axe central et contient une voie le long de l'axe central et qui est en communication fluidique avec la voie de passage. La section inférieure de l'ensemble collecteur contient un deuxième collecteur qui s'étend depuis un deuxième orifice d'arrivée jusqu'à une deuxième voie de passage et une ouverture concentrique avec l'axe central. Le tube s'étend jusqu'à l'ouverture de façon à former une deuxième voie entre le tube et un bord de l'ouverture. La deuxième voie est concentrique avec l'axe central et elle est en communication fluidique avec la deuxième voie de passage.