DEVICE FOR THE SYNTHESIS OF NANOPARTICLES BY FLUIDIZED-BED CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION

The present invention proposes a device for the vapour-phase deposition of chemical species onto support grains of spherical or similar shapes placed in a fluidized bed, comprising: a first fluidized-bed chamber (1), housed in which is a fluidization component (8), formed into a funnel, to receive s...

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Hauptverfasser: THOLLON, STEPHANIE, FILHOL, LIONEL
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention proposes a device for the vapour-phase deposition of chemical species onto support grains of spherical or similar shapes placed in a fluidized bed, comprising: a first fluidized-bed chamber (1), housed in which is a fluidization component (8), formed into a funnel, to receive support grains (2) of spherical or similar shapes, a second chamber (3) in fluid connection with the first chamber (1), intended both to provide precursors, in vapour phase, of the chemical species to be deposited on the support grains (2) and to transport a fluidizing gas in the direction of the first chamber (1), a flute (9), positioned at the inlet of the fluidization component (8), in order to control the distribution of the vapour-phase precursors and of the fluidizing gas within the fluidization component (8), characterized in that the distribution flute (9) comprises one or more external grooves or recesses (92), the or each groove (92) comprising a first portion oriented along the longitudinal axis of the flute (9) and a second portion that winds helically around this axis in order to generate a fluidizing gas vortex within the first chamber (1). La présente invention propose un dispositif de dépôt en phase vapeur d'espèces chimiques sur des grains support de formes sphériques ou assimilées disposés dans un lit fluidisé, comportant : une première chambre (1) à lit fluidisé dans laquelle est logé un élément de fluidisation (8), conformé en entonnoir, pour recevoir des grains support (2) de formes sphériques ou assimilées, une deuxième chambre (3), en connexion fluidique avec la première chambre (1), destinée à la fois à fournir des précurseurs sous phase vapeur des espèces chimiques à déposer sur les grains support (2) et à véhiculer un gaz fluidifiant en direction de la première chambre (1 ), une flûte (9), disposée à l'entrée de l'élément de fluidisation (8), pour contrôler Ia répartition des précurseurs en phase vapeur et du gaz fluidifiant au sein de l'élément de fluidisation (8), caractérisé en ce que la flûte de répartition (9) comprend une ou plusieurs rainures ou gorges externes (92), la ou chaque rainure (92) comportant une première partie orientée selon l'axe longitudinal de la flûte (9) et une deuxième partie s'enroulant hélicoïdalement autour de cet axe afin de générer un vortex de gaz fluidifiant au sein de la première chambre (1).