SINGLE-CHANNEL OPTICAL PROCESSING SYSTEM FOR ENERGETIC-BEAM MICROSCOPES

A single-channel optical processing system for an energetic-beam instrument has separate sources for processing radiation (170) and illumination radiation (180) that are combined in a single optical path and directed to a sample surface (140) through a selffocusing rod lens (130). The self-focusing rod lens (130) thus has a working distance from the sample surface (140) that will not interfere with typical arrangements of ion beams (100) and electron beams (110) in such instruments. A combination of polarizers (220) and beam splitters (240) allows separation of the combined incident radiation (150) and the reflected radiation (160) from the sample surface (140) and returned through the same optical channel, so that the reflected radiation (160) may be directed to an optical detector (370), such as a camera or spectrometer. L'invention porte sur un système de traitement optique à canal unique pour instrument à faisceau énergétique à sources séparées de traitement des radiations (170) et de production de radiations (180) combinées en un canal unique et dirigées sur la surface d'un échantillon (140) via une lentille tige autofocalisante (130). Ladite lentille (130) présente ainsi une distance de travail à partir de la surface de l'échantillon (140) qui n'interfère pas avec les arrangements particuliers des faisceaux d'ions (100) et des faisceaux d'électrons (110) de tels instruments. Une combinaison de polarisateurs (220) et de diviseurs de faisceau (240) permet de séparer les radiations incidentes combinées (150) des radiations réfléchies (160) par la surface de l'échantillon (140) et revenant par le même canal optique. Les radiations réfléchies (160) pouvant ainsi être dirigées sur un détecteur optique (370) tel qu'une caméra ou un spectromètre.