METHOD FOR THE PRODUCTION OF AN ELASTIC BODY FROM AI2O3 CERAMICS, MEASURING MEMBRANE FOR A PRESSURE SENSOR, AND PRESSURE SENSOR HAVING SUCH A MEASURING MEMBRANE

Ein Verfahren zur Herstellung eines elastischen Verformungskörpers aus einer Al2O3-Keramik verwendet eine hochreine Tonerde mit höchstens 2000 ppm MgO, höchstens 200 ppm anorganischen Verunreinigungen, einer spezifischen Oberfläche von mindestens 10 m2/g, eine mittlere Korngröße von höchstens 0,3 µm...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: OBERBACH, UTA, ROSBERG, ANDREAS, LUDWIG, HENRY, HEGNER, FRANK, KASTNER, FRANK
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Ein Verfahren zur Herstellung eines elastischen Verformungskörpers aus einer Al2O3-Keramik verwendet eine hochreine Tonerde mit höchstens 2000 ppm MgO, höchstens 200 ppm anorganischen Verunreinigungen, einer spezifischen Oberfläche von mindestens 10 m2/g, eine mittlere Korngröße von höchstens 0,3 µm, wobei mit der Tonerde und Zusätzen über wässrige Aufbereitung ein homogenes Gemisch erzeugt wird, aus dem ein pressfähiges Sprühgranulat erzeugt wird, welches mittels eines uniaxialen Pressverfahrens zu einem homogenen Grünkörper geformt wird, der einem Sinterprozess ausgesetzt wird, wobei der resultierende elastische Verformungskörper eine Biegebruchspannung sc aufweist, deren Verteilung F(sc) durch die Weibull-Parameter s0 = 800 MPa und m = 24 gegeben ist, mit einer mittleren Korngröße des gesinterten Materials von nicht mehr als 2 µm, und wobei das gesinterte Material des Verformungskörpers eine Dichte von nicht weniger als 3,98 g/m2 aufweist. The invention relates to a method for the production of an elastic deformation body from Al2O3 ceramics, utilizing a highly pure alumina having a maximum of 2000 ppm of MgO1, a maximum of 200 ppm of inorganic contaminants, a specific surface of at least 10 m2/g, a mean grain size of a maximum of 0.3 µm, wherein a homogeneous mixture is created using the alumina and additives by means of aqueous processing, from which a spray granulate that can be compressed is created, which is formed into a homogeneous green body by means of a uniaxial compressing method, the green body being subjected to a sintering process, wherein the resulting elastic deformation body has a bending rupture stress sc, the distribution F (sc ) of which is given by the Weibull parameters s0 = 800 MPa and m = 24, and has a mean grain size of the sintered material of less than 2 µm, and wherein the sintered material of the deformation body has a density of less than 3.98 g/m2. L'invention concerne un procédé de fabrication d'un corps à déformation élastique réalisé en céramique Al2O3, faisant intervenir de l'alumine ultra-pure contenant au plus 2000 ppm de MgO et 200 ppm d'impuretés anorganiques, présentant une surface spécifique d'au moins 10 m2/g et une taille de grains moyenne maximale de 0,3 µm. L'alumine et des additifs sont employés pour former un mélange homogène par traitement aqueux, un granulat de pulvérisation moulable est produit à partir de ce mélange, le granulat est moulé sous forme de corps de base homogène à l'aide d'un procédé de mou