COMPUTER-IMPLEMENTED METHODS, COMPUTER-READABLE MEDIA, AND SYSTEMS FOR CLASSIFYING DEFECTS DETECTED IN A MEMORY DEVICE AREA ON A WAFER

COMPUTER-IMPLEMENTED METHODS, COMPUTER-READABLE MEDIA, AND SYSTEMS FOR CLASSIFYING DEFECTS DETECTED IN A MEMORY DEVICE AREA ON A WAFER

Computer-implemented methods, computer-readable media, and systems for classifying defects detected in a memory device area on a wafer are provided. L'invention concerne des procédés informatiques, un support lisible par ordinateur et des systèmes pour classer des défauts détectés dans une zone...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: CHANG, ELLIS, CHOI, SUNYONG, PAE, YEONHO
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
CALCULATING
COMPUTING
COUNTING
ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
INFORMATION STORAGE
PHYSICS
STATIC STORES
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Beschreibung
Zusammenfassung:Computer-implemented methods, computer-readable media, and systems for classifying defects detected in a memory device area on a wafer are provided. L'invention concerne des procédés informatiques, un support lisible par ordinateur et des systèmes pour classer des défauts détectés dans une zone de dispositif mémoire sur une plaquette