LOW- INERTIA MULTI -AXIS MULTI -DIRECTIONAL MECHANICALLY SCANNED ION IMPLANTATION SYSTEM

An ion implantation system configured to produce an ion beam is provided, wherein an end station has a robotic architecture having at least four degrees of freedom. An end effector operatively coupled to the robotic architecture selectively grips and translates a workpiece through the ion beam. The...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	EIDE, PAUL, FARLEY, MARVIN, SMICK, THEODORE, RYDING, GEOFFREY, HORNER, RONALD, OTA, KAN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS BLASTING ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS FRAMES, CASINGS, OR BEDS OF ENGINES OR OTHER MACHINES ORAPPARATUS NOT SPECIFIC TO AN ENGINE, MACHINE, OR APPARATUSPROVIDED FOR ELSEWHERE GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HEATING LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING STANDS OR SUPPORTS THERMAL INSULATION IN GENERAL WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	An ion implantation system configured to produce an ion beam is provided, wherein an end station has a robotic architecture having at least four degrees of freedom. An end effector operatively coupled to the robotic architecture selectively grips and translates a workpiece through the ion beam. The robotic architecture has a plurality of motors operatively coupled to the end station, each having a rotational shaft. At least a portion of each rotational shaft generally resides within the end station, and each of the plurality of motors has a linkage assembly respectively associated therewith, wherein each linkage assembly respectively has a crank arm and a strut. The crank arm of each linkage assembly is fixedly coupled to the respective rotational shaft, and the strut of each linkage assembly is pivotally coupled to the respective crank arm at a first joint, and pivotally coupled to the end effector at a second joint. L'invention concerne un système d'implantation d'ions configuré de façon à produire un faisceau d'ions, un poste d'extrémité présentant une architecture robotique possédant au moins quatre degrés de liberté. Un effecteur terminal couplé fonctionnellement à l'architecture robotique saisit sélectivement et translate une pièce de travail à travers le faisceau d'ions. L'architecture robotique comporte une pluralité de moteurs couplés fonctionnellement au poste d'extrémité, chacun d'eux étant doté d'un arbre rotatif. Au moins une partie de chaque arbre rotatif se situe généralement à l'intérieur du poste d'extrémité, et chaque moteur de la pluralité de moteurs se voit respectivement associer un ensemble de transmission, chaque ensemble de transmission comprenant respectivement un maneton et une bielle. Le maneton de chaque ensemble de transmission est en liaison encastrement avec l'arbre rotatif correspondant et la bielle de chaque ensemble de transmission est en liaison pivot avec le maneton correspondant au niveau d'une première articulation, et en liaison pivot avec l'effecteur terminal au niveau d'une deuxième articulation.