EXTENDED SENSOR BACK VOLUME

A microelectromechanical system (MEMS) transducer (1000) comprises a diaphragm (705) and a back plate (604). The diaphragm and back plate are spaced apart and are made of semiconductor material using microelectronic fabrication techniques. The transducer also includes a pedestal (601) comprising a cavity. The pedestal has a first end and a second end, and the back plate of the transducer is affixed to the first end, substantially covering the cavity. An extension member is affixed to the second end of the pedestal, enlarging the back volume of the transducer. L'invention concerne un transducteur de système microélectromécanique (MEMS) qui comprend un diaphragme et une plaque arrière. Le diaphragme et la plaque arrière sont espacés l'un de l'autre et sont faits d'un matériau semi-conducteur en utilisant des techniques de fabrication microélectroniques. Le transducteur comprend également un piédestal comportant une cavité. Le piédestal possède une première extrémité et une seconde extrémité, et la plaque arrière du transducteur est fixée sur la première extrémité et recouvre essentiellement la cavité. Un élément d'extension est fixé à la seconde extrémité du piédestal, ce qui agrandit le volume arrière du transducteur.