MEMS MICROPHONE ARRAY ON A CHIP

The present invention relates to microelectromechanical systems (MEMS). In particular, the present invention relates to MEMS arrays for use in acoustics and other applications. La présente invention des systèmes micro-électromécaniques (MEMS), et en particulier des réseaux MEMS destinés à l'aco...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KRAUSE, JOSHUA, S, WHITE, ROBERT, D
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	DEAF-AID SETS ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The present invention relates to microelectromechanical systems (MEMS). In particular, the present invention relates to MEMS arrays for use in acoustics and other applications. La présente invention des systèmes micro-électromécaniques (MEMS), et en particulier des réseaux MEMS destinés à l'acoustique et à d'autres applications.