SOFTWARE APPLICATION TO ANALYZE EVENT LOG AND CHART TOOL FAIL RATE AS FUNCTION OF CHAMBER AND RECIPE

In one embodiment, a method for providing a user interface to graphically indicate a cause for fault-related events includes providing a user interface to illustrate a plurality of fault-related events for a plurality of recipes performed on a plurality of manufacturing process hardware tools, presenting in the user interface the plurality of recipes in a first axis and the plurality of manufacturing process hardware tools in a second axis, and graphically indicating in the user interface whether the plurality of fault- related events were caused by one of the plurality of manufacturing process hardware tools or one of the plurality of recipes performed on the one manufacturing process hardware tools. Dans un mode de réalisation, un procédé pour fournir une interface utilisateur afin d'indiquer de manière graphique une cause d'événements liés à une erreur comprend les étapes consistant à fournir une interface utilisateur en vue d'illustrer une pluralité d'événements liés à une erreur pour une pluralité de recettes effectuées sur une pluralité d'outils matériels de processus de fabrication ; à présenter dans l'interface utilisateur la pluralité de recettes dans un premier axe et la pluralité d'outils matériels de processus de fabrication dans un second axe ; et à indiquer de manière graphique dans l'interface utilisateur si la pluralité des événements liés à une erreur a été causée par l'un des outils de la pluralité d'outils matériels de processus de fabrication ou l'une des recettes de la pluralité de recettes effectuées sur l'outil matériel de processus de fabrication.