WAFER TESTING APPARATUS AND PROCESSING EQUIPMENT HAVING THE SAME

The present invention provides a wafer testing apparatus. The wafer testing apparatus includes a wafer transferring part which transfers a wafer along a transfer path, and is placed near an edge of the wafer to be transferred, inspects whether a crack or a particle exists in the edge of the wafer, and distinguishes between the crack and the particle. There is provided an inspector for taking out the wafer to another transfer path if there exists the crack or the particle. Further, the present invention provides processing equipment having the wafer testing apparatus, which can inspect qualities of a wafer to be introduced into a series of processes and determine whether to introduce or take out the wafer into or from a processing chamber or the next series of processes according to results from inspecting the qualities. La présente invention concerne un appareil de vérification de plaquette. Cet appareil de vérification de plaquette comprend un élément de transfert de plaquette qui transfère une plaquette le long d'un trajet de transfert, et qui est placé près d'un bord de la plaquette à transférer, inspecte s'il existe une fissure ou une particule dans le bord de la plaquette, et distingue la fissure de la particule. L'invention comprend un inspecteur servant à extraire la plaquette vers un autre trajet de transfert s'il existe une fissure ou une particule. La présente invention concerne en outre un équipement de traitement comportant l'appareil de vérification de plaquette, qui peut inspecter les qualités de la plaquette à introduire dans une série de traitements et déterminer s'il faut introduire la plaquette dans une chambre de traitement ou dans la série de traitements suivante ou l'en retirer en fonction des résultats de l'inspection des qualités.