WATER RESISTANT ULTRA-LOW PRESSURE SENSOR
A device (100) for sensing an acoustic signal comprises a backplate of electrically conductive material, with the backplate defining at least one channel, and a diaphragm (21 ) of electrically conductive material that is connected to, and insulated from the backplate. The diaphragm defines a flexibl...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | A device (100) for sensing an acoustic signal comprises a backplate of electrically conductive material, with the backplate defining at least one channel, and a diaphragm (21 ) of electrically conductive material that is connected to, and insulated from the backplate. The diaphragm defines a flexible member having a top side (98) and a bottom side (99) and the flexible member cooperates with the backplate to define an air gap. A first bond pad is formed on the diaphragm and a second bond is formed on the backplate. The bottom side of the flexible layer is provided with a water resistant layer (50), and the backplate, diaphragm, first bond pad and second bond pad combine to form a sensor for sensing the acoustic signal.
Un dispositif de détection d'un signal acoustique comprend une platine en matériau électroconducteur, la platine délimitant au moins un canal, et un diaphragme en matériau électroconducteur qui est raccordé à la platine et isolé de celle-ci. Le diaphragme délimite un élément flexible présentant un côté supérieur et un côté inférieur, et l'élément supérieur coopère avec la platine pour délimiter un entrefer. Un premier plot de connexion est formé sur le diaphragme, et un second plot de connexion est formé sur la platine. Le côté inférieur de la couche flexible est doté d'une couche résistante à l'eau, et la platine, le diaphragme, ainsi que le premier et le second plot de connexion se combinent pour former un capteur permettant de détecter le signal acoustique. |
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