LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD

A drive system for controllably driving an electric actuator includes a current sensor system (143) to sense a current (I) conducted by the actuator (M1) and a driver (141) to electrically drive the actuator based on an output signal of the current sensor system. The current sensor system includes at least a first (144, 146) and a second current sensor (145, 147) that have a mutually different sensitivity for the current to be sensed and the drive syste includes a current sensor controller (148) to control an extent to which each o the current sensors to determine the output signal of the current sensor system. L'invention concerne un système d'entraînement pour entraîner de façon commandée un actionneur électrique, lequel système d'entraînement comprend un système de détection de courant (143) pour détecter un courant (I) conduit par l'actionneur (M1) et un organe d'entraînement (141) pour entraîner électriquement l'actionneur sur la base d'un signal de sortie du système de détection de courant. Le système de détection de courant comprend au moins un premier détecteur de courant (144, 146) et un second détecteur de courant (145, 147) qui ont une sensibilité mutuellement différente pour le courant devant être détecté et le système d'entraînement comprend un dispositif de commande de détecteur de courant (148) pour commander la mesure dans laquelle chacun des détecteurs de courant détermine le signal de sortie du système de détection de courant.