PARTIALLY-FILLED ELECTRODE-TO-RESONATOR GAP

Method and apparatus for lowering capacitively-transduced resonator impedance within micromechanical resonator devices. Fabrication limits exist on how small the gap spacing can be made between a resonator and the associated input and output electrodes in response to etching processes. The present invention teaches a resonator device in which these gaps are then fully, or more preferably partially filled with a dielectric material to reduce the gap distance. A reduction of the gap distance substantially lowers the motional resistance of the micromechanical resonator device and thus the capacitively-transduced resonator impedance. Micromechanical resonator devices according to the invention can be utilized in a wide range of UHF devices, including integration within ultra-stable oscillators, RF filtering devices, radar systems, and communication systems. La présente invention concerne un procédé et un appareil destinés à abaisser l'impédance de résonateur à transduction capacitative dans des dispositifs de résonateurs micromécaniques. Il existe des limites de fabrication en ce qui concerne la petitesse de l'espacement entre un résonateur et les électrodes d'entrée et de sortie associées, en réponse aux processus de gravure. La présente invention concerne un dispositif de résonateur dans lequel ces espaces sont alors entièrement remplis, ou mieux encore partiellement remplis, d'un matériau diélectrique pour réduire l'espacement. Une réduction de l'espacement diminue sensiblement la résistance dynamique du dispositif de résonateur micromécanique et ainsi l'impédance du résonateur à transduction capacitative. Les dispositifs de résonateurs micromécaniques selon l'invention peuvent être utilisés dans une large plage de dispositifs UHF, et notamment être intégrés dans des oscillateurs ultra-stables, des dispositifs de filtration RF, des systèmes de radar, et des systèmes de communication.