AEROSOL GENERATOR NOZZLE, AEROSOL GENERATOR SYSTEM, COATING SYSTEM, AND METHOD

Eine Aerosolerzeugerdüse (2) weist einen Druckgasauslass (4) mit mindestens einer Auslassöffnung (6) zum Erzeugen einer Gasströmung (5) und mindestens zwei Materialauslässe (10) auf. Für jeden der mindestens zwei Materialauslässe (10) ist jeweils einen Materialzufuhrströmungsweg (12) vorgesehen, übe...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SAMWER, KONRAD, MOSNEAGA, VASILE, BELENCIUC, ALEXANDR, SAPOVAL, OLEG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL ATOMISING APPARATUS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY NOZZLES PERFORMING OPERATIONS SPRAYING APPARATUS SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Eine Aerosolerzeugerdüse (2) weist einen Druckgasauslass (4) mit mindestens einer Auslassöffnung (6) zum Erzeugen einer Gasströmung (5) und mindestens zwei Materialauslässe (10) auf. Für jeden der mindestens zwei Materialauslässe (10) ist jeweils einen Materialzufuhrströmungsweg (12) vorgesehen, über welchen ein Prekursormaterial dem betreffenden Materialauslass (10) zuführbar ist, zum Abgeben des Prekursormaterials durch den Materialauslass (10). Jeder Materialauslass (10) angeordnet ist zum Abgeben eines Prekursormaterials (11) in die Gasströmung (5). Die Aerosolerzeugerdüse (2) ermöglicht eine hohe Schichtqualität. Gemäß einer Ausführungsform ist der Materialauslass (10) radial innerhalb des Druckgasauslasses (4) angeordnet. The invention relates to an aerosol generator nozzle (2), having a pressurized gas outlet (4) comprising at least one outlet opening (6) for generating a gas flow (5), and at least two material outlets (10). A material feed flow path (12), via which a precursor material can be fed to the respective material outlet (10) for dispensing the precursor material through the material outlet (10), is provided for each of the at least two material outlets (10). Each material outlet (10) is disposed for dispensing a precursor material (11) into the gas flow (5). The aerosol generator nozzle (2) enables high layer quality. According to one embodiment, the material outlet (10) is disposed radially within the pressurized gas outlet (4). L'invention concerne une buse de générateur d'aérosol (2) présentant une sortie de gaz comprimé (4) dotée d'au moins une ouverture de sortie (6) destinée à produire un flux de gaz (5) et présentant au moins deux sorties de matériau (10). Pour chacune des deux sorties de matériau (10)au moins au nombre de une est prévu respectivement un trajet de flux d'amenée de matériau (12) par l'intermédiaire duquel un matériau précurseur peut être amené à la sortie de matériau (10) concernée afin de délivrer le matériau précurseur à travers la sortie de matériau (10). Chaque sortie de matériau (10) est disposée pour délivrer un matériau précurseur (11) dans le flux de gaz (5). La buse de générateur d'aérosol (2) permet d'obtenir une couche de grande qualité. Selon un mode de réalisation, la sortie de matériau (10) est disposée radialement à l'intérieur de la sortie de gaz comprimé (4).