MEASURING SYSTEM AND MEASURING METHOD

Es wird bereitgestellt ein Messsystem mit einem entlang einer ersten Richtung verfahrbaren Tisch (2) für eine Maske (3) oder einen Wafer, einer Positionseinheit (18), die einen sich in der ersten Richtung erstreckenden Maßstab (19) und einen Abtastkopf (20), deren Relativlage in der ersten Richtung erfaßbar ist, aufweist, einem von einer quer zur ersten Richtung verlaufenden ersten Seite (13) des Tisches (2) beabstandeten Sensorkopf (21), der berührungslos den Abstand (d) zur ersten Seite (13) mißt und ein Abstandssignal ausgibt und der mit dem Abtastkopf (20) oder dem Maßstab (19) mechanisch verbunden ist, um eine entlang der ersten Richtung bewegbare Messeinheit (23) zu bilden, einem Antrieb zum Bewegen der Messeinheit (23) und einer Steuereinrichtung, die den Antrieb bei einem Verfahren des Tisches (2) entlang der ersten Richtung so ansteuert, daß der Sensorkopf (21) von der ersten Seite (13) beabstandet bleibt, und die basierend auf der dadurch bedingten Änderung der Relativlage von Maßstab (19) und Abtastkopf (20) sowie auf dem Abstandssignal die Position des Tisches (2) in der ersten Richtung bestimmt. The invention relates to a measuring system comprising a table (2) for a mask (3) or a wafer that can be displaced along a first direction, a positioning unit (18) having a measuring rod (19) that extends in the first direction and a scanning head (20). The relative position of said unit can be detected in the first direction. The system further comprises a sensor head (21) spaced from a first side (13) of the table (2) running transversely relative to the first direction, said head measuring the distance (d) to the first side (13) in a non-contact manner and emitting a distance signal and being mechanically connected to the scanning head (20) or the measuring rod (19), in order to form a measuring unit (23) movable along the first direction, a drive for moving the measuring unit (23), and a control device controlling the drive during a displacement of the table (2) along the first direction such that the sensor head (21) remains spaced from the first side (13) and determines the position of the table (2) in the first direction based on the change of the relative position of the measuring rod (19) and scanning head (20) and based on the distance signal. La présente invention concerne un système de mesure comportant une table (2), mobile le long d'une première direction, pour un masque (3) ou une plaquette, une unité de position (18) qui comprend un ins