ELECTROSPRAY VAPORIZER

An electrospray vaporizer is capable of producing fine spray droplets and vapor molecules through electrohydrodynamic spraying of a reagent liquid. The electrospray vaporizer includes a housing with a flow path, a reagent liquid supplying device, a nozzle, a perforated plate, a power supply device and a heating device. The reagent liquid supplying device is designed to supply a reagent liquid containing precursors to the upstream end of the housing. The nozzle is mounted to the upstream end of the housing and connected to the reagent liquid supplying device so that it can spray the reagent liquid into the flow path. The perforated plate is arranged on the downstream side of the nozzle. The power supply device is adapted to apply a high voltage to one of the nozzle and the perforated plate. The heating device is designed to apply thermal energy to the flow path. L'invention porte sur un vaporisateur d'électronébulisation qui est capable de produire de fines gouttelettes de pulvérisation et molécules de vapeur par la pulvérisation électrohydrodynamique d'un liquide réactif. Le vaporisateur d'électronébulisation de l'invention comprend : un logement comportant une trajectoire d'écoulement; un dispositif d'alimentation en liquide réactif; une buse; une plaque perforée; un dispositif d'alimentation électrique; et un dispositif de chauffage. Le dispositif d'alimentation en liquide réactif est conçu pour distribuer des précurseurs contenant le liquide réactif à l'extrémité amont du logement. La buse est montée sur l'extrémité amont du logement et est reliée au dispositif d'alimentation en liquide réactif de manière qu'elle peut pulvériser le liquide réactif dans la trajectoire d'écoulement. La plaque perforée est agencée du côté aval de la buse. Le dispositif d'alimentation électrique est apte à appliquer une tension élevée à la buse ou à la plaque perforée. Le dispositif de chauffage est conçu pour appliquer une énergie thermique à la trajectoire d'écoulement.