CHARGING APPARATUS

Intended is to reduce pressure fluctuations across a filter (14) for filtering a resist liquid. Provided is a charging apparatus comprising a charge liquid tank (2) reserving the resist liquid, a charge liquid passage (4) for feeding the resist liquid fed from the charge liquid tank (2) by a feed pump (10), to a charge nozzle (8), a recovery passage (16) branched from a branch portion (18) midway of the charge liquid passage (4) and communicating with the charge liquid tank (2), a charge valve (12) disposed in the charge liquid passage (4) on the downstream side of the branch portion (18) (or in the downstream portion (4B) of the charge liquid passage (4)), a recovery valve (20) disposed in the recovery passage (16), the filter (14) interposed between the pump (10) and the branch portion (18), servomotors for driving the charge valve (12) and the recovery valve (20) individually, and a control device (24) for controlling the servomotors to adjust the openings of the charge valve (12) and the recovery valve (20). The opening of the recovery valve (20) is so controlled that the pressures on the upstream side and the downstream side of the filter (14) may not fluctuate. Cette invention est destinée à réduire les fluctuations de pression à travers un filtre (14) pour filtrer un liquide de réserve. Cette invention se rapporte à un appareil de charge comprenant un réservoir de liquide de charge (2) stockant le liquide de réserve ; un passage de liquide de charge (4) pour fournir le liquide de réserve, fourni à partir du réservoir de liquide de charge (2) par une pompe d'alimentation (10), vers une buse de charge (8) ; un passage de récupération (16) dérivé à partir d'une partie de dérivation (18) à mi-chemin du passage de liquide de charge (4) et communiquant avec le réservoir de liquide de charge (2) ; une soupape de charge (12) disposée dans le passage de liquide de charge (4) sur le côté en aval de la partie de dérivation (18) (ou dans la partie aval (4B) du passage de liquide de charge (4)) ; une soupape de récupération (20) disposée dans le passage de récupération (16) ; le filtre (14) qui est interposé entre la pompe (10) et la partie de dérivation (18) ; des servomoteurs pour entraîner la soupape de charge (12) et la soupape de récupération (20) séparément ; et un dispositif de commande (24) pour commander les servomoteurs pour le réglage des ouvertures de la soupape de charge (12) et de la soupape de récupération (20). L'ouverture de la soupape de récupé