IMAGING ELLIPSOMETER

An imaging ellipsometer for imaging a substantially planar reflecting surface, the surface defining a surface plane. The ellipsometer comprises: a focussing element for focusing electromagnetic radiation specularly reflected from said surface, the focussing element having a focussing element plane; a detector for detecting specularly reflected electromagnetic radiation focussed by the focussing element at a detector plane; and a stage for supporting said surface; at least one constraining device for constraining the movement of the ellipsometer such that: the detector plane, the focussing element plane and said surface plane are arranged either to intersect along a single line or to be parallel to one another. Furthermore, the focussing element is arranged such that it is tiltable with respect to a principal axis such that the magnitude of an angle between a focussing element axis and the principal axis is able to be greater than 0 radians. La présente invention concerne un ellipsomètre d'imagerie permettant la formation d'image d'une surface réfléchissante sensiblement plane, la surface définissant un plan de surface. L'ellipsomètre comporte : un élément de focalisation permettant la focalisation d'un rayonnement électromagnétique réfléchi de manière spéculaire depuis la surface, l'élément de focalisation ayant un plan d'élément de focalisation ; un détecteur permettant la détection du rayonnement électromagnétique réfléchi de manière spéculaire focalisé par l'élément de focalisation au niveau d'un plan de détecteur ; et un étage pour maintenir ladite surface ; au moins un dispositif de contrainte permettant la contrainte du mouvement de l'ellipsomètre de sorte que : le plan de détecteur, le plan de l'élément de focalisation et ledit plan de surface soient disposés soit pour s'entrecroiser selon une ligne unique ou pour être parallèles les uns aux autres. En outre, l'élément de focalisation est disposé de sorte qu'il soit inclinable par rapport à un axe principal de sorte que la grandeur de l'angle d'un angle entre un axe de l'élément de focalisation et l'axe principal puisse être supérieure à 0 radian.