ELECTROSTATIC ACTUATOR AND FABRICATION METHOD

In one embodiment a method of making an electrostatic actuator includes: forming a first conductor (66) over a first substrate (80) to form a first structure (50); forming a flexible second conductor (58) over a second substrate (84) to form a second structure (92); forming an etch stop (86) over the first conductor (66) as part of the first structure (50) or over the second conductor (58) as part of the second structure (92); forming a spacer (88) on the etch stop (86), the spacer (88) selectively etchable with respect to the etch stop (86); etching the spacer (88) through to the etch stop (86) at a location of a gap (90) between the first conductor (66) and the second conductor (58); and bonding the first structure (50) and the second structure (92) together such that the first conductor (66) is located opposite the second conductor (58) across the gap (90). Dans un mode de réalisation de la présente invention, un procédé de fabrication d'un actionneur électrostatique comprend les étapes consistant : à former un premier conducteur (66) sur un premier substrat (80) pour former une première structure (50) ; à former un second conducteur souple (58) sur un second substrat (84) pour former une seconde structure (92) ; à former un arrêt de gravure (86) sur le premier conducteur (66) faisant partie de la première structure (50) ou sur le second conducteur (58) faisant partie de la seconde structure (92) ; à former une cale d'espacement (88) sur l'arrêt de gravure (86), la cale d'espacement (88) pouvant être gravée sélectivement par rapport à l'arrêt de gravure (86) ; à graver la cale d'espacement (88) jusqu'à l'arrêt de gravure (86) en un endroit d'un intervalle (90) entre le premier conducteur (66) et le second conducteur (58) ; et à relier la première structure (50) et la seconde structure (92) de telle sorte que le premier conducteur (66) soit situé à l'opposé du second conducteur (58) de l'autre côté de l'intervalle (90).