PRESSURE SENSOR
Various embodiments and methods relating to a pressure sensor having a flexure support (22, 322)ed piezo resistive sensing element (30, 330) are disclosed. L'invention concerne divers modes de réalisation et procédés qui se rapportent à un capteur de pression ayant un support de flexion (22, 32...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Various embodiments and methods relating to a pressure sensor having a flexure support (22, 322)ed piezo resistive sensing element (30, 330) are disclosed.
L'invention concerne divers modes de réalisation et procédés qui se rapportent à un capteur de pression ayant un support de flexion (22, 322) et un élément de détection piézorésistif (30, 330). |
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