PRESSURE SENSOR

Various embodiments and methods relating to a pressure sensor having a flexure support (22, 322)ed piezo resistive sensing element (30, 330) are disclosed. L'invention concerne divers modes de réalisation et procédés qui se rapportent à un capteur de pression ayant un support de flexion (22, 32...

Ausführliche Beschreibung

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Hauptverfasser: MCKINNELL, JAMES, C, NIKKEL, ERIC, L, JILANI, ADEL, B, WU, JENNIFER, L
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Various embodiments and methods relating to a pressure sensor having a flexure support (22, 322)ed piezo resistive sensing element (30, 330) are disclosed. L'invention concerne divers modes de réalisation et procédés qui se rapportent à un capteur de pression ayant un support de flexion (22, 322) et un élément de détection piézorésistif (30, 330).