A DEVICE PROVIDING A LIVE THREE-DIMENSIONAL IMAGE OF A SPECIMEN

The beam of particles from the primary source is led to the secondary source (1) and a tilting and simultaneously scanning unit (2) placed above the objective (3) is inserted to the path of the output beam of particles with an axis (5). The tilting and scanning unit (2), seen in the direction from the viewed specimen (4) upwards, consists of a bottom stage (2.2) and a top stage (2.1). The top stage (2.1) and the bottom stage (2.2) consist of at least two tilting and scanning elements (6, 7) arranged to create fields orthogonal to each other in the area where the beam of particles with the axis (5) passes through them. Both the output of the first adjustable source (6.1) of a direct tilting signal and the first adjustable source (6.2) of an alternating scanning signal are connected to the first tilting and scanning element (6). Both the output of the second adjustable source (7.1) of a direct tilting signal and the second adjustable source (7.2) of an alternating scanning signal are connected to the second tilting and scanning element (7). Le faisceau de particules provenant de la source primaire est conduit à la source secondaire (1) et une unité inclinable et simultanément de balayage (2) placée au-dessus de l'objectif (3) est insérée dans le trajet du faisceau de sortie de particules avec un axe (5). L'unité inclinable et de balayage (2), vue dans la direction à partir de l'échantillon vu (4) vers le haut, est constituée d'un étage inférieur (2.2) et un étage supérieur (2.1). L'étage supérieur (2.1) et l'étage inférieur (2.2) sont constitués d'au moins deux éléments inclinables et de balayage (6, 7) agencés pour créer des champs orthogonaux l'un à l'autre dans la zone où le faisceau de particules avec l'axe (5) passe à travers ceux-ci. La sortie de la première source réglable (6.1) d'un signal inclinable direct et la première source réglable (6.2) d'un signal de balayage alterné sont toutes les deux connectées au premier élément inclinable et de balayage (6). La sortie de la seconde source réglable (7.1) d'un signal inclinable direct et la seconde source réglable (7.2) d'un signal de balayage alterné sont toutes les deux connectées au second élément inclinable et de balayage (7).