MULTI-AXIAL LINEAR AND ROTATIONAL DISPLACEMENT SENSOR

A MEMS multiaxial inertial sensor of angular and linear displacements has four comb drive capacitive sensing elements (18) integrated on a planar substrate (12), each having an output responsive to displacement along a Z axis, and responsive to a displacement along X or Y axes. The sensing elements are located at different parts of the substrate on both sides of the X axis and the Y axis, the outputs being suitable for subsequently deriving linear displacements along any of the X, Y or Z axes and angular displacements about any of the X, Y or Z axes. Fewer sensing elements are needed to sense in multiple directions, making the device more cost effective or smaller. L'invention concerne un capteur d'inertie multiaxial MEMS de déplacements angulaires et linéaires. Le capteur présente quatre éléments de détection capacitifs à commande en peigne (18) intégrés sur un substrat plan (12), ayant chacun une sortie sensible au déplacement selon un axe Z et une sortie sensible à un déplacement le long des axes X ou Y. Les éléments de détection sont situés au niveau de différentes parties du substrat, sur les deux côtés de l'axe X et de l'axe Y, les sorties étant appropriées pour déduire ultérieurement des déplacements linéaires le long de n'importe lequel des axes X, Y ou Z et des déplacements angulaires autour de n'importe lequel des axes X, Y ou Z. Moins d'éléments de détection sont nécessaires pour effectuer une détection dans de multiples directions, rendant le dispositif encore plus rentable ou petit.