SINGLE PHASE PROXIMITY HEAD HAVING A CONTROLLED MENISCUS FOR TREATING A SUBSTRATE

A system for processing a substrate is described. The system includes a proximity head, a mechanism, and a liquid supply. The proximity head is configured to generate a controlled meniscus. Specifically, the proximity head has a plurality of dispensing nozzles formed on a face of the proximity head. The dispensing nozzles are configured to supply a liquid to the meniscus and the suction holes are added to remove a used liquid from the meniscus. The mechanism moves the proximity head or the substrate with respect to each other while maintaining contact between the meniscus and a surface of the substrate. The movement causes a thin layer of the liquid to remain on the surface after being contacted by the meniscus. The liquid supply is in fluid communication with the dispensing nozzles, and is configured to balance an amount of the liquid delivered to the meniscus with an amount of liquid removed from the meniscus, the amount of liquid removed from the meniscus including at least the thin layer of the liquid remaining on the surface of the substrate. L'invention concerne un système de traitement d'un substrat. Le système comprend une tête de proximité, un mécanisme et une alimentation en liquide. La tête de proximité est configurée pour générer un ménisque commandé. De façon précise, la tête de proximité comprend une pluralité de buses de distribution formées sur une face de la tête de proximité. Les buses de distribution sont configurées pour fournir un liquide au ménisque et les trous d'aspiration sont ajoutés pour extraire un liquide usagé du ménisque. Le mécanisme déplace la tête de proximité ou le substrat l'un par rapport à l'autre tout en maintenant un contact entre le ménisque et une surface du substrat. Le mouvement amène une mince couche de liquide à rester sur la surface après qu'elle soit mise en contact avec le ménisque. L'alimentation en liquide est en communication fluidique avec les buses de distribution et est configurée pour équilibrer une quantité de liquide délivrée au ménisque et une quantité de liquide extraite du ménisque, la quantité de liquide extraite du ménisque comprenant au moins la mince couche de liquide restant sur la surface du substrat.