A MEMS DEVICE WITH BI-DIRECTIONAL ELEMENT

The present invention provides a bi-directional microelectromechanical element, a microelectromechanical switch including the bi-directional element, and a method to reduce mechanical creep in the bi-directional element. In one embodiment, the bi-directional microelectromechanical element includes a cold beam having a free end and a first end connected to a cold beam anchor. The cold beam anchor is attached to a substrate. A first beam pair is coupled to the cold beam by a free end tether and is configured to elongate when heated thereby to a greater temperature than a temperature of the cold beam. A second beam pair is located on an opposing side of the cold beam from the first beam pair and is coupled to the first beam pair and the cold beam by the free end tether. The second beam pair is configured to elongate when heated thereby to the greater temperature. La présente invention porte sur un élément micro-électromécanique bidirectionnel, sur un commutateur micro-électromécanique comprenant l'élément bidirectionnel et sur un procédé de réduction d'un fluage mécanique dans l'élément bidirectionnel. Dans un mode de réalisation, l'élément micro-électromécanique bidirectionnel comporte un bras froid muni d'une extrémité libre et d'une première extrémité reliée à une ancre de bras froid. L'ancre de bras froid est fixée à un substrat. Une première paire de bras est couplée au bras froid par une attache d'extrémité libre et est conçue pour s'allonger lorsque sa température devient supérieure à celle du bras froid. Une seconde paire de bras est située sur le côté opposé au bras froid de la première paire de bras et est couplée à la première paire de bras ainsi qu'au bras froid par l'attache d'extrémité libre. La seconde paire de bras est conçue pour s'allonger lorsque sa température devient supérieure à celle du bras froid.