MICROPUMP

The present invention provides a displacement micropump (1) and a method for manufacturing such. The displacement micropump (1) comprises a pumping chamber (12), an inlet valve (4), an outlet valve (5), and a first flexible diaphragm (14) arranged to be able to vary the volume of the pumping chamber (12), and integrated means for moving the flexible diaphragm (18). The micropump (1) is a multilayer structure having a plurality of layers, wherein at least one layer is a micro structured layer of a metal or a metal alloy such as stainless steel. The plurality of layers comprises a micro structured microfluidic layer (24) which at least partly forms the pumping chamber (12). Preferably paraffin is used for moving the diaphragm. The multilayer structure may be sealed using clamping and/or a conformal coating on the plurality of layers forming an intermediate sealing layer (31). L'invention concerne une micropompe volumétrique (1) et son procédé de fabrication. La micropompe volumétrique (1) comprend une chambre de pompage (12), une soupape d'entrée (4), une soupape de sortie (5), et une première membrane souple (14) agencée pour pouvoir modifier le volume de la chambre de pompage (12), et des moyens intégrés pour déplacer la membrane souple (18). La micropompe (1) a une structure multicouche ayant une pluralité de couches, dans lesquelles au moins une couche est une microcouche structurée d'un métal ou d'un alliage métallique tel que de l'acier inoxydable. La pluralité de couches comprend une couche microfluidique microstructurée (24) qui forme au moins partiellement la chambre de pompage (12). De préférence, de la paraffine est utilisée pour déplacer la membrane. La structure multicouche peut être étanchéifiée en utilisant un serrage et/ou un revêtement conforme sur la pluralité de couches, formant une couche d'étanchéification intermédiaire (31).