INSPECTION SYSTEMS AND METHODS FOR EXTENDING THE DETECTION RANGE OF AN INSPECTION SYSTEM BY FORCING THE PHOTODETECTOR INTO THE NON-LINEAR RANGE

An inspection system and method is provided herein for increasing the detection range of the inspection system. According to one embodiment, the inspection system may include a photodetector having a plurality of stages, which are adapted to convert light scattered from a specimen into an output signal, and a voltage divider network coupled for extending the detection range of the photodetector (and thus, the detection range of the inspection system) by saturating at least one of the stages. This forces the photodetector to operate in a non-linear manner. However, measurement inaccuracies are avoided by calibrating the photodetector output to remove any non-linear effects that may be created by intentionally saturating the at least one of the stages. In one example, a table of values may be generated during a calibration phase to convert the photodetector output into an actual amount of scattered light. L'invention concerne un système d'inspection et un procédé d'augmentation de la portée de détection du système d'inspection. Selon un mode de réalisation, le système d'inspection peut inclure un photodétecteur présentant une pluralité d'étages, qui sont adaptés pour convertir de la lumière diffusée depuis un spécimen en un signal de sortie, et un réseau de diviseur de tension couplé pour étendre la portée de détection du photodétecteur (et ainsi la portée de détection du système d'inspection) en saturant au moins un des étages. Ceci oblige le photodétecteur de fonctionner de manière non linéaire. Des inexactitudes de mesure sont cependant évitées grâce au calibrage de la sortie de photodétecteur afin de supprimer tout effet non linéaire qui pourrait être créé en saturant intentionnellement le au moins un étage. Dans un exemple, un tableau de valeur peut être généré pendant une phase de calibrage pour convertir la sortie de photodétecteur en une quantité réelle de lumière diffusée.