ADAPTOR FOR CLUSTER TOOL CHAMBERS

A cluster tool has a transfer chamber, and a load lock chamber. An adaptor is configured to be coupled between the transfer chamber and the load lock chamber. The adaptor has an adaptor housing with an interior space including an entrance with a first valve and an exit with a second valve. The adaptor housing forms a substrate path through the interior space. The first valve connects the interior space and the load lock chamber. The second valve connects the interior space and the transfer chamber. A cryogenic surface is associated with the adaptor. Other pumps can be associated with the adaptor, such as, for example, a turbo pump, or water vapor pump. The cryogenic surface is configured to selectively evacuate the interior space. A wafer is adapted to be moved through the first valve and through the adaptor housing along the path. The wafer is moved through the exit and into the transfer chamber once the second valve is opened. This adaptor can be applied to the process chamber as well as the load lock. L'invention concerne un outil multiple qui a un sas de transfert et un sas de chargement. Un adaptateur est configuré pour être couplé entre le sas de transfert et le sas de chargement. L'adaptateur a un boîtier d'adaptateur avec un espace intérieur comprenant une entrée avec une première soupape et une sortie avec une seconde soupape. Le boîtier d'adaptateur forme un trajet de substrat à travers l'espace intérieur. La première soupape raccorde l'espace intérieur et le sas de chargement. La seconde soupape raccorde l'espace intérieur et le sas de transfert. Une surface cryogénique est associée à l'adaptateur. D'autres pompes peuvent être associées à l'adaptateur telles que, par exemple, une turbopompe ou une pompe à vapeur d'eau. La surface cryogénique est configurée pour vider sélectivement l'espace intérieur. Une bride est adaptée pour être déplacée à travers la première soupape et à travers le boîtier d'adaptateur le long du trajet. La bride est déplacée à travers la sortie et dans le sas de transfert une fois que la seconde soupape est ouverte. Cet adaptateur peut être appliqué au sas de traitement ainsi qu'au sas de chargement.