SYSTEMS AND METHODS FOR A THIN FILM CAPACITOR HAVING A COMPOSITE HIGH-K THIN FILM STACK

SYSTEMS AND METHODS FOR A THIN FILM CAPACITOR HAVING A COMPOSITE HIGH-K THIN FILM STACK

Systems and methods are provided for fabricating a thin film capacitor involving depositing an electrode layer of conductive material on top of a substrate material, depositing a first layer of ferroelectric material on top of the substrate material using a metal organic deposition or chemical solut...

Ausführliche Beschreibung

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Hauptverfasser: NAGY, SUSAN C, CAPANU, MIRCEA, ZELNER, MARINA
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CAPACITORS
CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES ORLIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
ELECTRICITY
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creator NAGY, SUSAN C
CAPANU, MIRCEA
ZELNER, MARINA
description Systems and methods are provided for fabricating a thin film capacitor involving depositing an electrode layer of conductive material on top of a substrate material, depositing a first layer of ferroelectric material on top of the substrate material using a metal organic deposition or chemical solution deposition process, depositing a second layer of ferroelectric material on top of the first layer using a high temperature sputter process and depositing a metal interconnect layer to provide electric connections to layers of the capacitor. L'invention propose des systèmes et des procédés pour fabriquer un condensateur à films minces mettant en jeu le dépôt d'une couche d'électrode d'un matériau conducteur sur le dessus d'un matériau de substrat, le dépôt d'une première couche de matériau ferroélectrique sur le dessus du matériau de substrat à l'aide d'un procédé de dépôt organométallique ou de dépôt de solution chimique, le dépôt d'une seconde couche de matériau ferroélectrique sur le dessus de la première couche à l'aide d'un procédé de pulvérisation cathodique haute température et le dépôt d'une couche d'interconnexion métallique pour fournir des connexions électriques aux couches du condensateur.
format Patent
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L'invention propose des systèmes et des procédés pour fabriquer un condensateur à films minces mettant en jeu le dépôt d'une couche d'électrode d'un matériau conducteur sur le dessus d'un matériau de substrat, le dépôt d'une première couche de matériau ferroélectrique sur le dessus du matériau de substrat à l'aide d'un procédé de dépôt organométallique ou de dépôt de solution chimique, le dépôt d'une seconde couche de matériau ferroélectrique sur le dessus de la première couche à l'aide d'un procédé de pulvérisation cathodique haute température et le dépôt d'une couche d'interconnexion métallique pour fournir des connexions électriques aux couches du condensateur.</description><language>eng ; fre</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; CAPACITORS ; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES ORLIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE ; ELECTRICITY</subject><creationdate>2008</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20081120&amp;DB=EPODOC&amp;CC=WO&amp;NR=2008138127A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20081120&amp;DB=EPODOC&amp;CC=WO&amp;NR=2008138127A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>NAGY, SUSAN C</creatorcontrib><creatorcontrib>CAPANU, MIRCEA</creatorcontrib><creatorcontrib>ZELNER, MARINA</creatorcontrib><title>SYSTEMS AND METHODS FOR A THIN FILM CAPACITOR HAVING A COMPOSITE HIGH-K THIN FILM STACK</title><description>Systems and methods are provided for fabricating a thin film capacitor involving depositing an electrode layer of conductive material on top of a substrate material, depositing a first layer of ferroelectric material on top of the substrate material using a metal organic deposition or chemical solution deposition process, depositing a second layer of ferroelectric material on top of the first layer using a high temperature sputter process and depositing a metal interconnect layer to provide electric connections to layers of the capacitor. L'invention propose des systèmes et des procédés pour fabriquer un condensateur à films minces mettant en jeu le dépôt d'une couche d'électrode d'un matériau conducteur sur le dessus d'un matériau de substrat, le dépôt d'une première couche de matériau ferroélectrique sur le dessus du matériau de substrat à l'aide d'un procédé de dépôt organométallique ou de dépôt de solution chimique, le dépôt d'une seconde couche de matériau ferroélectrique sur le dessus de la première couche à l'aide d'un procédé de pulvérisation cathodique haute température et le dépôt d'une couche d'interconnexion métallique pour fournir des connexions électriques aux couches du condensateur.</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>CAPACITORS</subject><subject>CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES ORLIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE</subject><subject>ELECTRICITY</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2008</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZAgPjgwOcfUNVnD0c1HwdQ3x8HcJVnDzD1JwVAjx8PRTcPP08VVwdgxwdPYMAYp6OIZ5-rkDJZ39fQP8gz1DXBU8PN09dL2RVAeHODp78zCwpiXmFKfyQmluBmU31xBnD93Ugvz41OKCxOTUvNSS-HB_IwMDC0NjC0Mjc0dDY-JUAQA1HzFA</recordid><startdate>20081120</startdate><enddate>20081120</enddate><creator>NAGY, SUSAN C</creator><creator>CAPANU, MIRCEA</creator><creator>ZELNER, MARINA</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20081120</creationdate><title>SYSTEMS AND METHODS FOR A THIN FILM CAPACITOR HAVING A COMPOSITE HIGH-K THIN FILM STACK</title><author>NAGY, SUSAN C ; CAPANU, MIRCEA ; ZELNER, MARINA</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2008138127A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre</language><creationdate>2008</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>CAPACITORS</topic><topic>CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES ORLIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE</topic><topic>ELECTRICITY</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>NAGY, SUSAN C</creatorcontrib><creatorcontrib>CAPANU, MIRCEA</creatorcontrib><creatorcontrib>ZELNER, MARINA</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>NAGY, SUSAN C</au><au>CAPANU, MIRCEA</au><au>ZELNER, MARINA</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>SYSTEMS AND METHODS FOR A THIN FILM CAPACITOR HAVING A COMPOSITE HIGH-K THIN FILM STACK</title><date>2008-11-20</date><risdate>2008</risdate><abstract>Systems and methods are provided for fabricating a thin film capacitor involving depositing an electrode layer of conductive material on top of a substrate material, depositing a first layer of ferroelectric material on top of the substrate material using a metal organic deposition or chemical solution deposition process, depositing a second layer of ferroelectric material on top of the first layer using a high temperature sputter process and depositing a metal interconnect layer to provide electric connections to layers of the capacitor. 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