IC TESTING METHODS AND APPARATUS

An integrated circuit comprises a device under test and embedded test circuitry. The embedded test circuitry comprises a plurality of process monitoring sensors (14), a threshold circuit (22) for comparing the sensor signals with a threshold window having an upper and a lower limit and a digital interface (17) for outputting the threshold circuit signal. The process monitoring sensors (14) comprise circuitry based on the circuit elements of the device under test. This arrangement enables monitoring of circuit element performance, such as transistor properties, using process monitoring sensors which are embedded with the device under test, so that the same process parameter variations apply to the sensors as to the device under test. The sensors preferably match the physical layout of the device under test. Un circuit intégré comprend un dispositif en cours de test et des éléments de circuit de test intégrés. Les éléments de circuit de test intégrés comprennent une pluralité de capteurs de surveillance de processus (14), un circuit à seuil (22) pour comparer les signaux de capteur avec une fenêtre de seuil ayant des limites supérieure et inférieure et une interface numérique (17) pour délivrer le signal de circuit à seuil. Les capteurs de surveillance de processus (14) comprennent des éléments de circuit basés sur les éléments de circuit du dispositif en cours de test. Cet agencement permet de surveiller les performances des éléments de circuit, telles que les propriétés des transistors, en utilisant des capteurs de surveillance de processus qui sont intégrés au dispositif en cours de test, de sorte que les mêmes variations de paramètre de processus s'appliquent aux capteurs et au dispositif en cours de test. Les capteurs correspondent de préférence à l'agencement physique du dispositif en cours de test.