PLASMA INSENSITIVE HEIGHT SENSING

A method for determining a distance between a first piece and a second piece includes measuring, at the first or second piece, an AC signal, and determining the distance based on the measured AC signal. A system for determining a distance between a first piece and a second piece includes a measuring...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	CONNALLY, WILLIAM, J, GARG, SANJAY
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A method for determining a distance between a first piece and a second piece includes measuring, at the first or second piece, an AC signal, and determining the distance based on the measured AC signal. A system for determining a distance between a first piece and a second piece includes a measuring device adapted to measure, at one or both of the first and second piece, an AC signal, and a signal processing device adapted to determine the distance based on the measured AC signal. The AC signal includes a DC offset. L'invention concerne un procédé permettant de déterminer une distance entre une première pièce et une deuxième pièce, qui comprend les étapes consistant à : mesurer un signal de CA sur la première ou la deuxième pièce, et déterminer la distance sur la base du signal de CA mesuré. L'invention concerne un système permettant de déterminer une distance entre une première pièce et une deuxième pièce, qui comprend un dispositif de mesure conçu pour mesurer un signal de CA sur la première pièce et/ou la deuxième pièce, et un dispositif de traitement de signal permettant de déterminer la distance sur la base du signal de CA mesuré. Le signal de CA comprend un décalage en CC.