BEAM PROCESSING APPARATUS AND BEAM MONITORING APPARATUS

Provided is a beam processing apparatus or a beam monitoring apparatus which has reduced sizes and reduced cost. The beam processing apparatus or the beam monitoring apparatus is provided with a beam outputting source; a beam passing member (25), which has an outputting section (25a) for outputting a beam toward a work (2) and permits the beam traveling toward the work (2) from the beam outputting source to pass through; a fixed member (6), which has a fixing surface (6a) for fixing the work (2) and moves in a prescribed direction; and a hollow member (23), which is formed hollow to be deformed in three-dimensional directions and has the beam passing member (25) inside. The hollow member (23) is composed of at least a first hollow member (26) and a second hollow member (27) connected to each other. At one end of the hollow member (23), an opening section (37) is formed, the one end of the hollow member (23) abuts to the fixing surface, and inside the hollow member (23) is in a vacuum state. La présente invention concerne un appareil de traitement de faisceau ou un appareil de surveillance de faisceau qui présente des dimensions et un coût réduits. L'appareil de traitement de faisceau ou l'appareil de surveillance de faisceau est équipé d'une source d'émission de faisceau ; d'un élément de passage de faisceau (25) qui possède une section d'émission (25a) adaptée pour émettre un faisceau vers une pièce de travail (2) et qui permet au faisceau se déplaçant vers la pièce de travail (2) à partir de la source d'émission de faisceau de traverser celle-ci ; d'un élément fixe (6) qui a une surface de fixation (6a) destinée à fixer la pièce de travail (2) et se déplace dans une direction prescrite ; et d'un élément creux (23) qui est de forme creuse de façon à pouvoir se déformer dans des directions tridimensionnelles et qui contient l'élément de passage de faisceau (25). L'élément creux (23) est composé d'au moins un premier élément creux (26) et un second élément creux (27) reliés l'un à l'autre. A une extrémité de l'élément creux (23) est formée une section d'ouverture (37), la première extrémité de l'élément creux (23) est en butée contre la surface de fixation et un état sous vide est généré à l'intérieur de l'élément creux (23).