AN ANTI-REFLECTION LAYER WITH NANO PARTICLES

A micromirror device includes a particle-containing anti-reflection layer that covers at least a portion of the device or its package other than a mirror surface. The size of the particle may be smaller than or equal to the wavelength of light incident on the micromirror device, or smaller than or equal to 800 ran, preferably at least 380 run but smaller than or equal to 800 nm. The particles may be metal particles, preferably TiN particles. L'invention concerne un dispositif à micro-miroir qui comprend une couche antireflet contenant des particules qui recouvrent au moins une partie du dispositif ou son conditionnement autre qu'une surface de miroir. La taille de la particule peut être inférieure ou égale à la longueur d'onde de lumière incidente sur le dispositif à micro-miroir, ou inférieure ou égale à 800 ran, de préférence au moins 380 ran mais inférieure ou égale à 800 nm. Les particules peuvent être des particules métalliques, de préférence des particules de TiN.