CHARGED PARTICLE ANALYSER AND METHOD

A charged particle analyser comprises a first non-imaging electrostatic lens for receiving charged particles having divergent, trajectories and for converting the said trajectories into substantially parallel trajectories. At least one planar filter is provided for receiving the charged particles having the substantially parallel trajectories and for filtering the charged particles in accordance with their respective energies. A second non-imaging electrostatic lens receives the energy filtered charged particles and selectively modifies their trajectories as a function of their energies. A charged particle detector then receives the charged particles in accordance with their selectively modified trajectories. L'invention concerne un analyseur de particules chargées comprenant une première lentille électrostatique non-imageuse destinée à recevoir des particules chargées aux trajectoires divergentes et à transformer ces trajectoires en trajectoires sensiblement parallèles. On trouve au moins un filtre plan qui reçoit les particules chargées à trajectoires sensiblement parallèles et les filtre en fonction de leurs énergies respectives. Une seconde lentille électrostatique non-imageuse reçoit les particules chargées à filtrage énergétique et modifie sélectivement leurs trajectoires en fonction de leurs énergies. Un détecteur de particules chargées reçoit alors les particules chargées conformément à leurs trajectoires modifiées sélectivement.