HYBRID COMPOSITE WAFER CARRIER FOR WET CLEAN EQUIPMENT

A carrier structure for supporting a substrate when being processed by passing the carrier through a meniscus formed by upper and lower proximity heads is described. The carrier includes a frame having an opening sized for receiving a substrate and a plurality of support pins for supporting the substrate within the opening, the opening being slightly larger than the substrate such that a gap exists between the substrate and the opening. The frame comprises a composite core, a top sheet, a bottom sheet, a layer of aramid fabric between the top sheet and the core and a second layer of aramid fabric between the bottom sheet and the core. The top sheet and the bottom sheet being formed from a polymer material. A method of manufacture is also described. L'invention concerne une structure de support pour porter un substrat lorsqu'il est traité par le passage du support à travers un ménisque formé par des têtes de proximité supérieure et inférieure. Le support comprend un cadre ayant une ouverture dimensionnée pour recevoir un substrat et une pluralité de broches de support pour soutenir le substrat à l'intérieur de l'ouverture, l'ouverture étant légèrement plus grande que le substrat, de telle sorte qu'un espace existe entre le substrat et l'ouverture. Le cadre comporte un noyau composite, une feuille supérieure, une feuille inférieure, une couche de tissu aramide entre la feuille supérieure et le noyau, et une seconde couche de tissu aramide entre la feuille inférieure et le noyau. La feuille supérieure et la feuille inférieure sont formées d'un matériau polymère. L'invention propose également un procédé de fabrication.