OPTICAL DEVICE INSPECTING APPARATUS

[PROBLEMS] To provide an optical device inspecting apparatus which can be set to take many objects at one time more freely compared with conventional apparatuses, and furthermore, can accurately inspect even an optical device wherein an optical sensor is offset from a microlens. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] Provided is an optical device inspecting apparatus having a probe card unit and a lens unit. The probe card unit is provided with a main substrate, a guide plate and a probe. Openings are made on the main substrate and the guide plate. The guide plate is fixed at a prescribed position from the main substrate, and is provided with a plurality of probe inserting holes. The probe is inserted into the probe inserting hole on the guide plate and fixed. The leading end portion of the probe protruding from the inserting hole has a shape of a cantilever. The lens unit using a pupil lens is arranged at the opening on the main substrate, and makes light applied to an inspecting object incline as the light goes further from the center of the optical system. L'objet de la présente invention est un appareil d'inspection de dispositif optique qui peut être réglé de manière à prendre de nombreux objets à la fois plus librement par rapport aux appareils classiques, et qui peut en outre effectuer une inspection précise y compris d'un dispositif optique dans lequel un capteur optique est décalé par rapport à une microlentille. La présente invention fournit un appareil d'inspection de dispositif optique doté d'une unité de carte de sonde et d'une unité de lentille. L'unité de carte de sonde est équipée d'un substrat principal, d'une plaque de guidage et d'une sonde. Des ouvertures sont pratiquées sur le substrat principal et la plaque de guidage. La plaque de guidage est fixée dans une position donnée par rapport au substrat principal, et est équipée d'une pluralité de trous d'insertion de sonde. La sonde est insérée dans le trou d'insertion de sonde sur la plaque de guidage puis fixée. La partie d'extrémité avant de la sonde faisant saillie à partir du trou d'insertion se présente sous la forme d'un cantilever. L'unité de lentille utilisant une lentille de pupille est disposée dans l'ouverture sur le substrat principal, et fait en sorte que la lumière appliquée à un objet d'inspection s'incline à mesure que la lumière provient davantage du centre du système optique.