RESONANT VIBRATORY DEVICE HAVING HIGH QUALITY FACTOR AND METHODS OF FABRICATING SAME

The invention provides resonant vibratory sensors to render such resonant vibratory sensors more beneficial than conventional MEMS-based and non-MEMS -based resonant vibratory sensors for various usage applications, such as portable applications requiring navigation-grade performance. The resonant vibratory sensors include as examples an oscillator, a vibratory gyroscope and a vibratory accelerometer. In one embodiment, the resonant vibratory sensor is a disk resonator gyroscope. The improved resonant vibratory sensors employ materials having an ultra low thermal expansion coefficient, which provides an improved thermoelastic quality factor. La présente invention concerne des capteurs vibratoires par résonance destinés à être plus efficaces que les capteurs vibratoires par résonance avec ou sans MEMS dans des applications d'usage varié telles que des applications portables nécessitant des performances de navigation. Les capteurs vibratoires par résonance comprennent par exemple un oscillateur, un gyroscope vibratoire et un accéléromètre vibratoire. Dans un mode de réalisation, le capteur vibratoire par résonance est un gyroscope résonateur de disque. Les capteurs vibratoires par résonance de qualité supérieure utilisent des matériaux dont le coefficient d'expansion thermique est extrêmement faible, ce qui donne un meilleur facteur de qualité thermoélastique.