IN-LINE FURNACE CONVEYORS WITH INTEGRATED WAFER RETAINERS

In one embodiment, an in-line furnace includes a continuous conveyor (152) configured to hold wafers (101) at an angle relative to ground. The conveyor may have fixedly integrated wafer retainers (231) configured to hold the wafers (101) in slots. The conveyor (152) may be formed by several segments...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MULLIGAN, WILLIAM P, PASS, THOMAS
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	CONVEYING HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL PACKING PERFORMING OPERATIONS PNEUMATIC TUBE CONVEYORS SHOP CONVEYOR SYSTEMS STORING TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	In one embodiment, an in-line furnace includes a continuous conveyor (152) configured to hold wafers (101) at an angle relative to ground. The conveyor may have fixedly integrated wafer retainers (231) configured to hold the wafers (101) in slots. The conveyor (152) may be formed by several segments (202) that are joined together. Each of the segments (202) may include a base (232) and a set of wafer retainers (231) formed thereon. The conveyor (152) may be driven to move the wafers (101) through a chamber of the furnace, where the wafers (101) are thermally processed. L'invention concerne un mode de réalisation dans lequel, un four en ligne comprend un transporteur continu (152) configuré pour retenir des tranches (101) à un angle par rapport au sol. Le transporteur peut avoir des organes (231) de retenue de tranches, intégrés de façon fixe, configurés pour retenir les tranches (101) dans des fentes. Le transporteur (152) peut être formé par plusieurs segments (202) qui sont reliés ensemble. Chacun des segments (202) peut comprendre une base (232) et un ensemble d'organes (231) de retenue de tranches formés sur celle-ci. Le transporteur (152) peut être commandé pour déplacer les tranches (101) à travers une chambre du four dans laquelle les tranches (101) sont soumises à un traitement thermique.