GAS CONVEYING PUMP, METHOD OF FORMING HEATER, AND SENSOR

A technique capable of highly accurately conveying even a slight amount of gas and highly reliable. A gas conveying pump (10) has a flow channel and a heater (20). The flow channel is composed of a chamber (12), an entrance side channel (13), an exit side channel (14), and a tapered inlet side diffuser section (15), and a tapered outlet side diffuser section (16). The heater (20) causes gas inside the chamber (12) to expand and contract, changing the volume of the chamber (12) to reliably convey the gas from the entrance side channel (13) to the exit side channel (14). The heater (20) provided in the chamber (12) is formed from silicon with boron diffused in it. Preferably, the heater (20) is made up of heater members (20a) arranged side by side so as to penetrate the inside of the chamber (12). La présente invention se rapporte à une technique qui peut même acheminer, avec une grande précision et de manière très fiable, une petite quantité de gaz. Une pompe d'acheminement de gaz (10) a un canal d'écoulement et un dispositif de chauffage (20). Le canal d'écoulement est constitué d'une chambre (12), d'un canal d'entrée (13), d'un canal de sortie (14) et d'une section de diffusion conique du côté de l'entrée (15) et d'une section de diffusion conique du côté de la sortie (16). Le dispositif de chauffage (20) fait que le gaz à l'intérieur de la chambre (12) se dilate et se contracte, modifiant le volume de la chambre (12) de sorte à transporter de manière sûre le gaz du canal d'entrée (13) au canal de sortie (14). Le dispositif de chauffage (20) monté dans la chambre (12) est fait en silicium ; du bore est diffusé en elle. De préférence, le dispositif de chauffage (20) est constitué d'organes chauffants (20a) disposés côte à côte de sorte à pénétrer à l'intérieur de la chambre (12).