NANO ELECTROMECHANICAL INTEGRATED-CIRCUIT BANK AND SWITCH

A bank of nano electromechanical integrated circuit filters. The bank of integrated circuit filters comprising a silicon substrate; a sacrificial layer; a device layer including at least two resonators, wherein the at least two resonators include sub-micron excitable elements and wherein the at least two resonators posses a fundamental mode frequency as well as a collective mode frequency and wherein the collective mode frequency of the at least two resonators is determined by the fundamental frequency of the sub-micron elements. At least one switch connects to the bank of integrated circuit filters. La présente invention concerne une banque de filtres à circuit intégré nano-électromécaniques. La banque de filtres à circuits intégrés comprend un substrat de silicium, une couche sacrificielle, une couche de dispositif comprenant au moins deux résonateurs. Au moins deux résonateurs comprennent des éléments excitables de l'ordre du sous-micron. Au moins deux résonateurs possèdent une fréquence de mode fondamental, ainsi qu'une fréquence de mode collectif. Cette dernière sur au moins deux résonateurs est déterminée par la fréquence fondamentale des éléments de l'ordre du sous-micron. Au moins un commutateur se connecte à la banque des filtres à circuit intégré.