AUTOMATED TEST AND CHARACTERIZATION DATA ANALYSIS METHODS AND ARRANGEMENT

A method for testing a component configured to be installed in a plasma processing system. The method includes providing an ATAC (Automated Test and Characterization) fixture, which includes a system control software package (SCS) that is representative of production system control software, a data manager module configured to obtain specification data from a database over a computer network, A test manager module configured to execute a set of tests designed to test the component, a SCS interface engine configured to provide the set of tests to the SCS, and a data analysis module configured to provide computer-implemented data analysis tool for analyzing test data obtained from the testing the component. The method also includes coupling the ATAC fixture to the component to enable the SCS in the ATAC fixture to test the component utilizing the set of tests and at least a portion of the specification data. La présente invention concerne un procédé destiné à tester un composant configuré pour une installation dans un système de traitement de plasma. Le procédé comprend la fourniture d'un dispositif ATAC (test et caractérisation automatisés), lequel comprend un progiciel de contrôle de système (SCS) qui est représentatif d'un logiciel de contrôle de système de production, un module de gestion de données configuré afin d'obtenir des données de spécifications à partir d'une base de données par le biais d'un réseau informatique, un module de gestion de test configuré afin d'exécuter un ensemble de tests conçus pour tester le composant, un moteur d'interface de progiciel SCS configuré afin de fournir l'ensemble de tests au progiciel SCS et un module d'analyse de données configuré afin de fournir un outil d'analyse de données implémenté sur ordinateur, destiné à l'analyse de données de test obtenues lors du test du composant. Le procédé comprend également le couplage du dispositif ATAC au composant afin de permettre au progiciel SCS du dispositif ATAC de tester le composant en utilisant l'ensemble de tests et au moins une portion des données de spécification.