METHODS AND APPARATUS FOR BEAM DENSITY MEASUREMENT IN TWO DIMENSIONS

A beam density measurement system (140) includes a shield (150), a beam sensor, (142,242) and an actuator (156). The beam sensor is positioned downstream from the shield in a direction of travel of a beam (104,204). The beam sensor is configured to sense an intensity of the beam, and the beam sensor has a long dimension and a short dimension. The actuator translates the shield relative to the beam sensor, wherein the shield blocks at least a portion of the beam from the beam sensor as the shield is translated relative to the beam sensor, and wherein measured values of the intensity associated with changes in a position of the shield relative to the beam sensor are representative of a beam density distribution of the beam in a first direction defined by the long dimension of the beam sensor. Système de mesure de densité de faisceau comprenant un écran, un détecteur de faisceau et un actionneur. Le détecteur de faisceau est disposé en aval de l'écran dans le sens du déplacement du faisceau. Conçu pour détecter l'intensité du faisceau, ce détecteur présente une dimension longue et une dimension courte. L'actionneur assure la translation de l'écran par rapport au détecteur de faisceau. Pendant sa translation, l'écran bloque au moins une partie du faisceau à partir du détecteur de faisceau. Les valeurs mesurées d'intensité du faisceau associées au changement de positon de l'écran par rapport au détecteur de faisceau sont représentatives d'une répartition de la densité du faisceau dans une première direction définie par la dimension longue du détecteur de faisceau.