MASTERING TOOLS AND SYSTEMS AND METHODS FOR FORMING A CELL ON THE MASTERING TOOLS
Mastering tools (24) and systems and methods for forming a cell on the mastering tools are provided. An exemplary method includes emitting a first laser light pulse (130) from a laser for a first predetermined time interval such that at least a portion of the first laser light pulse forms the cell o...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | Mastering tools (24) and systems and methods for forming a cell on the mastering tools are provided. An exemplary method includes emitting a first laser light pulse (130) from a laser for a first predetermined time interval such that at least a portion of the first laser light pulse forms the cell on the mastering tool. The cell has an opening size within a range of 10-100 micrometers and an aspect ratio less than or equal to 1.25.
L'invention concerne des outils de réalisation de gabarit ainsi que des systèmes et des procédés pour former une cellule sur les outils de réalisation de gabarit. Un exemple de procédé comprend l'émission d'une première impulsion de lumière laser depuis un laser pendant un premier intervalle prédéterminé de sorte qu'au moins une partie de la première impulsion de lumière laser forme la cellule sur l'outil de réalisation de gabarit. La cellule présente une taille comprise entre 10 et 100 micromètres et un rapport d'aspect inférieur ou égal à 1,25. |
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