COMPACT SCANNING ELECTRON MICROSCOPE

A compact electron microscope is robust, simple to operate, and preferably requires no special utilities. Imaging can begin shortly after a sample is inserted. A preferred simplified design includes permanent magnets for focusing, lack a vacuum controller and vacuum gauge, and uses a backscattered e...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	STOKS, SANDER RICHARD MARIE, VAN LEEUWEN, HUGO, BUIJSSE, BART, KOOIJMAN, CORNELIS SANDER, BERGER, STEVEN, DRIESSEN, KOEN ARNOLDUS WILHELMUS, BORMANS, BEN JACOBUS MARIE, TAPPEL, HENDRIK GEZINUS, BIERHOFF, MART PETRUS MARIA, PERSOON, JOHANNES ANTONIUS HENDRICUS WILHELMUS GERARDUS, SANFORD, COLIN AUGUST
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A compact electron microscope is robust, simple to operate, and preferably requires no special utilities. Imaging can begin shortly after a sample is inserted. A preferred simplified design includes permanent magnets for focusing, lack a vacuum controller and vacuum gauge, and uses a backscattered electron detector and no secondary electron detector. L'invention concerne un microscope électronique compact qui est robuste, simple à utiliser, et de préférence ne requiert aucune installation spécifique. La prise d'images peut commencer peu de temps après l'insertion d'un échantillon. Une conception simplifiée préférée inclut des aimants permanents pour effectuer la focalisation, une absence de contrôleur de vide et de manomètre de vide, et fait appel à un détecteur d'électrons rétrodiffusés et ne possède pas de second détecteur d'électrons.