MULTI-POST STRUCTURES

Micromechanical devices having complex multilayer structures and techniques for forming the devices are described. L'invention concerne des dispositifs micromécaniques dotés de structures multicouches complexes et des techniques pour former les dispositifs.

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: BIRKMEYER, JEFFREY
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Micromechanical devices having complex multilayer structures and techniques for forming the devices are described. L'invention concerne des dispositifs micromécaniques dotés de structures multicouches complexes et des techniques pour former les dispositifs.