MULTI-POST STRUCTURES
Micromechanical devices having complex multilayer structures and techniques for forming the devices are described. L'invention concerne des dispositifs micromécaniques dotés de structures multicouches complexes et des techniques pour former les dispositifs.
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | Micromechanical devices having complex multilayer structures and techniques for forming the devices are described.
L'invention concerne des dispositifs micromécaniques dotés de structures multicouches complexes et des techniques pour former les dispositifs. |
---|