FIBER OPTIC MEMS SEISMIC SENSOR WITH MASS SUPPORTED BY HINGED BEAMS

The present invention relates to an optic seismic MEMS sensor. More specifically, a proof mass is supported by a frame having supporting beams. The proof mass is positioned within the frame and has a hinged attachment to the beams. The proof mass has a sensor gap having a first reflector and a second reflector positioned at opposing ends of the sensor gap. An optical fiber injects light into the sensor gap and light is reflected to determine seismic movement of the proof mass with respect to the frame. Stops are provided for limiting the movement of the proof mass to minimize strain on the attachment of the beams and the proof mass. La présente invention concerne un capteur sismique micro-électromécanique. En particulier, une masse d'épreuve est supportée par un cadre à bras supports. La masse d'épreuve, disposée à l'intérieur du cadre, est fixée aux bras par des articulations. La masse d'épreuve comporte un intervalle de détection dont les extrémités opposées sont équipées chacune d'un miroirs. Une fibre optique injecte dans l'intervalle de détection de la lumière qui se réfléchit de façon à déterminer le déplacement sismique de la masse d'épreuve par rapport au cadre. On a prévu des butées pour limiter le déplacement de la masse d'épreuve de façon à minimiser la contrainte sur la fixation des bras avec la masse d'épreuve.