VERTICAL HALL SENSOR ELEMENT

Das erfindungsgemäße vertikale Hall-Sensorelement (100), umfasst ein Halbleitersubstrat (102), einen Halbleiterbereich (104) mit einem ersten Leitfähigkeitstyp, wobei sich der Halbleiterbereich (104) von einer Hauptoberfläche (102a) des Halbleiter-Substrats (102) in das Substrat (102) erstreckt, ein...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SCHLAG, ULRICH, HACKNER, MICHAEL, STAHL-OFFERGELD, MARKUS, HOHE, HANS-PETER
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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