ANALOG MEMS WITH NON-LINEAR SUPPORT

The disclosed embodiments reveal an analog MEMS device with a pivotal micromirror (102) that is supported by one or more beams that provide non-linear resistance. An electrode (105) can electrostatically attract the micromirror, while the beam(s) (120) provide resistance to deflection. When the forces equalize, the micromirror is held at a target angle. The beam support disclosed in the embodiments is superior to conventional torsion hinge supports (150), because it provides non-linear support for the micromirror, better matching the non-linear nature of the electrostatic force. L'invention concerne un dispositif MEMS analogique comprenant un micromiroir pivotant (102) soutenu par au moins une poutre offrant une résistance non linéaire. Une électrode (105) peut attirer électrostatiquement le micromiroir, tandis que la ou les poutres (120) opposent une résistance au fléchissement. Lorsque les forces s'égalisent, le micromiroir est maintenu selon un angle cible. Le support à poutre décrit dans des modes de réalisation de l'invention est supérieur aux supports articulés à torsion classiques (150) en ce qu'il apporte au micromiroir un soutien non linéaire correspondant mieux à la nature non linéaire de la force électrostatique.