NOVEL RINSE SOLUTION TO REMOVE CROSS-CONTAMINATION

A composition for rinsing a substrate including deionized water, one or more carboxylate acid containing compounds, one or more surfactants, and one or more corrosion inhibitors and a method of using the same is provided. Also a method for rinsing a substrate between exposure to platens including mo...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ECONOMIKOS, LAERTIS, HSU, WEI-YUNG, SAKAMOTO, AKIHISA, DU, TIANBAO, SALAS-VERNIS, JOSE, LIU, FENG Q, DUBOUST, ALAIN
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A composition for rinsing a substrate including deionized water, one or more carboxylate acid containing compounds, one or more surfactants, and one or more corrosion inhibitors and a method of using the same is provided. Also a method for rinsing a substrate between exposure to platens including moving the substrate from a first platen to a second platen and exposing the substrate to a rinse solution comprising one or more carboxylate acid containing compounds, one or more surfactants, and one or more corrosion inhibitors. L'invention concerne une composition destinée à rincer un substrat comprenant de l'eau déionisée, au moins un composé contenant de l'acide de carboxylate, au moins un surfactant, et au moins un inhibiteur de corrosion. L'invention concerne également un procédé d'utilisation de cette composition. L'invention concerne encore un procédé permettant de rincer un substrat entre des expositions à un traitement s'effectuant sur des plaques. Ce procédé consiste à déplacer le substrat d'une première plaque à une seconde plaque et à exposer ce substrat à une solution de rinçage comprenant au moins un composé contenant de l'acide de carboxylate, au moins un surfactant, et au moins un inhibiteur de corrosion.